Parker Veriflo Division - 分析产品、调节器、阀门和聚四氟乙烯产品
Veriflo 仪器范围 Veriflo Instrumentation Range

Parker Hannifin 的 Veriflo 部门为全球客户提供经过验证的气体和流体输送系统和组件。他们有能力将多种技术集成到独特的解决方案中，这些解决方案需要在具有成本效益的封装中实现最高水平的精度和性能。 对于半导体工具制造商，Veriflo 提供超高纯度不锈钢和含氟聚合物配件、阀门、调节器和歧管，用于 VMB、CMB、工具模块、晶圆清洗、湿法蚀刻和其他专门的微电子加工应用。这个高科技市场在不断发展，派克提供广泛的产品组合来支持每个过程的清洁度和表面处理需求。

Veriflo 隶属于派克仪器仪表部，是用于气体和液体控制和应用的散装气阀、精密隔膜、调节器和流量控制组件的领先制造商。该集团的高质量关键流量组件是为全球过程仪表、超高纯度、分析、医疗和生物制药应用而开发的。 Veriflo, a Parker Instrumentation Division, is a leading manufacturer of bulk gas valves, precision diaphragms, regulators and flow control components for the control and application of gases and liquids. The group's high quality, critical flow components are developed for world-wide process instrumentation, ultra-high-purity, analytical, medical and biopharmaceutical applications.

超高纯阀门Ultra High Purity Valves

Parker Veriflo 的超高纯度阀门设计符合严格的材料、设计、清洁度和性能规格，使其成为最苛刻的半导体气体和液体应用的理想选择。Parker Veriflo' s Ultra high purity valves are designed to exacting material, design, cleanliness, and performance specifications which make them ideal for use in the most demanding semiconductor gas and liquid applications.

超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
945Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.25 Cv 的流量和高达 3500 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。

超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
955 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.55 Cv 的流量和高达 250 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。

UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – 955Y 系列
UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – 955Y 系列
955Y 系列隔膜阀（Y 型块体）将两个高流量阀组合到一个紧凑的阀体中，简化了吹扫系统与气体歧管的集成，同时提高了吹扫过程的效率。

PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
SG-1 系列 PFA 氮气枪专为超高纯度半导体制造应用而设计。可提供 FNPT 或 Parflare 连接。其他选项包括 0.2 或 0.5 微米过滤器和盘绕软管组件（高达 80 psig）。

超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
930 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。

UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 psig） – 935 系列
UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 Psig） – 935 系列
935 系列阀门旨在用于超高纯度气体分配系统。它在高流量、低压条件下提供卓越的气体控制，在这些条件下，高泄漏完整性和绝对纯度至关重要。

UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 psig） – 935A 和 935T 系列
UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 Psig） – 935A 和 935T 系列
935A 和 935T 系列是 ? 英寸阀门，其阀体包含直径达 2 英寸的流通管连接。这种设计简化了将下降管线隔离阀集成到横向气体分配系统中的过程。

泄压阀 - VR7 系列
泄压阀 - VR7 系列
派克 VR7 系列泄压阀旨在通过在阀座发生轻微泄漏时从调节器排出多余压力来确保下游工艺设备的安全和保护。它有不锈钢材质。

UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
CV-1 系列止回阀具有机械加工的 PTFE 弹簧，可实现低开启压力操作和最小的重新密封背压。它具有出色的耐腐蚀性，专为超高纯度应用而设计。

UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
F9 系列是一种高纯度全焊接止回阀，占地面积小，可提供高达 0.90 的高 Cv，以节省急需的面板空间。F9 非常适合半导体晶圆厂应用、VMB/VMP 和气柜制造商。

UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
CV-32 系列 PTFE 高流量止回阀提供低开启压力和高完整性密封，以提供回流保护。它非常适合用于超高纯度半导体制造应用的散装化学品输送系统。

UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
PV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路和 3 路配置。

UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
注意：此产品不再可用 - 请联系我们以获得进一步的帮助。

UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
PV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。

UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
RV 系列是一种 PTFE 安全阀，非常适合超高纯度半导体、去离子水和腐蚀性化学应用。该阀门高度紧凑，可在现场进行调节，以提供安全可靠的泄压。

UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
PV-10 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 2 路或 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。

超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
930Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。

超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
SM930 系列表面安装阀具有出色的可靠性、泄漏完整性和清洁度，非常适合用于需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体工具应用

UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – SM955 系列
UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – SM955 系列
SM955 系列隔膜阀可配备各种手动操作器和气动执行器。它具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于 UHP 半导体模块化表面贴装系统应用。

UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。

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UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。

UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
MV-10 系列 PFA 手动阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。

UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
MV-11 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 100 psig）而设计。

UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
MV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路配置。

UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
MV-13 系列 PFA 手动针阀具有出色的泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有一个 PTFE 套圈，旨在在超高纯度和腐蚀性流体处理应用中提供精确的流量控制。

UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
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超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
17R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 0.80 Cv 和工作压力高达 3,000 psig 的配置。

超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
18R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 1.30 Cv 和工作压力高达 1,500 psig 的配置。

超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
945 系列隔膜阀具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合在 UHP 应用中使用。提供流量高达 0.25 Cv 和工作压力高达 3,500 psig 的配置。

PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
MV-6 系列 PTFE 手动球阀具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。它采用全端口设计，可最大限度地减少流量限制，非常适用于腐蚀性化学应用（高达 120 psig）。

UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
MV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。