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Parker Veriflo Division - 分析产品、调节器、阀门和聚四氟乙烯产品
Veriflo 仪器范围 Veriflo Instrumentation Range
Parker Hannifin 的 Veriflo 部门为全球客户提供经过验证的气体和流体输送系统和组件。他们有能力将多种技术集成到独特的解决方案中，这些解决方案需要在具有成本效益的封装中实现最高水平的精度和性能。 对于半导体工具制造商，Veriflo 提供超高纯度不锈钢和含氟聚合物配件、阀门、调节器和歧管，用于 VMB、CMB、工具模块、晶圆清洗、湿法蚀刻和其他专门的微电子加工应用。这个高科技市场在不断发展，派克提供广泛的产品组合来支持每个过程的清洁度和表面处理需求。
Veriflo 隶属于派克仪器仪表部，是用于气体和液体控制和应用的散装气阀、精密隔膜、调节器和流量控制组件的领先制造商。该集团的高质量关键流量组件是为全球过程仪表、超高纯度、分析、医疗和生物制药应用而开发的。
Veriflo, a Parker Instrumentation Division, is a leading manufacturer of bulk gas valves, precision diaphragms, regulators and flow control components for the control and application of gases and liquids. The group’s high quality, critical flow components are developed for world-wide process instrumentation, ultra-high-purity, analytical, medical and biopharmaceutical applications.
Parker Hannifin 的 Veriflo 部门提供经过验证的气体和流体输送系统和组件，特别是用于液体和气体控制和应用的散装气阀、调节器和流量控制组件。Parker Veriflo 提供两种不同的产品，用于半导体加工的 UHP（超高纯度）和用于炼油、石化和工业应用的 IPA 系列（仪器过程分析仪）。
产品
- 管件-压缩、焊接、高纯度、不锈钢、黄铜
- 配件-PFA Flare, PVC
- 歧管-仪表
- 歧管-聚四氟乙烯
- 快速接头-仪表
- 快速接头-PFA
- Regulators-Instrument 高纯度、高流量
- 调节器-仪表高压、背压、负压
- 调节器-仪表 PTFE
- 管式仪器，伴热，含氟聚合物
- 管材-热塑性塑料、含氟聚合物、软管、管材、管件
- 阀门-仪表球、止回阀、仪表、针阀、泄压阀
- 阀门-仪表高纯、波纹管、隔膜
- 阀门-PFA, PTFE Ball, Check, Meter, Needle, Relief
Veriflo Product Offerings
Partek Products:
MV-1 Series - PTFE Manual Stop Cock Valves
MV-6 Series - PTFE Manual Ball Valves
MV-8 Series - PTFE Manual Sampling Valves
MV-10 & PV-10 Series - 1/4” PFA Manual & Pneumatic Diaphragm Valves
MV-11 & PV-11 Series - 1/2” PFA Manual & Pneumatic Diaphragm Valves
MV-16 & PV-16 Series - 3/4” PFA Manual & Pneumatic Diaphragm Valves
MV-12 & PV-12 Series - 1” PFA Manual & Pneumatic Diaphragm Valves
MV-20 & PV-20 Series - PTFE Manual & Pneumatic Slurry Valves
MV-14 Series - PFA Manual Stop Cock Valves
MV-13 Series - PFA Manual Needle Valves
PV-1 Series - PTFE Miniature Pneumatic Diaphragm Valves
CV-1 Series - PTFE Check Valves
RV Series - PFA Relief Valves
SV-2 Series - PFA Solenoid Valves
Custom Assemblies
PR-08 & DPR-08 Series - PTFE Forward Pressure Regulators
BR-08 & DBR-08 Series - PTFE Back Pressure Regulators
FM Series - PTFE Flowmeters
GP/GPIL Series - PFA Gauge Protectors
SG-1 Series - PFA Spray Guns
VV Series - PTFE Ventuir Vacuum Generators
SMU-1 Series - PTFE Inline Static Mixer
TS Series - PFA Thermocouple Sensor Assembly
PPV Series - PFA Pressure Vessels
Parflare Series - PFA Flare Tube Fittings
Pargrip Series - PFA Compression Tube Fittings
Parbond Series - PFA Fusible Pipe Fittings
Pipe Series - PFA NPT Schedule 40 Pipe Fittings
FG Series - Electronic Flare Gun
MFT Series - Manual Flaring Tool
NW Series - Nut Wrench
True Union Ball Valves - PVC & CPVC
PVC Plastic Pipes & Fittings - PVC Schedule 40
PVC Plastic Pipes & Fittings - PVC & CPVC Schedule 80
Instrumentation Process
Analyzer (IPA) Products:
735 Series - Two Stage Tied Diaphragm Regulator
959 Series - Single Stage Tied Diaphragm Regulator
ABP1 Series - Back Pressure Regulator
ABP3 Series - High Sensitivity Back Pressure Regulator
APR66 Series - High Pressure Single Stage Regulator
AVR3 Series - Steam Heated Vaporizing Regulator
AVR4 Series - Electrically Heated Vaporizing Regulator
BPR50 Series - High Pressure Back Pressure Regulator
HF1200 Series - Single Stage High Flow Regulator
HFT1200 Series - Single Stage Tied Diaphragm High Flow Regulator
HFR900 Series - Single Stage High Flow Regulator
HPR800 Series - Single Stage Low Actuating Torque Regulator
IR4000 Series - Single Stage General Purpose Regulator
IR4200 Series - Brass Single Stage General Purpose Regulator
IR5000 Series - High Sensitivity Single Stage Regulator
IR6000 Series - Two Stage General Purpose Regulator
IR6200 Series - Brass Two Stage General Purpose Regulator
MIR700 Series - Single Stage Compact Regulator
NPR4100 Series - Negative Pressure Regulator
XPR Series - Single Stage High Pressure Regulator
FS190 Series - Excess Flow Shut-Off Valve
NV17 Series - High Pressure Compact Diaphragm Valve
NV55 Series - High Flow Compact Diaphragm Valve
NV70 Series - High Flow Compact Diaphragm Valve
VR7 Series - Pressure Relief Valve
LC223S Series - Gas or Liquid Flow Controller
SC423XL Series - Gas Flow Controller
COSE - Changover System
COSM - Mini Changeover System
CGA - Compressed Gas Fittings and Assemblies
Ultra High Purity (UHP) Products:
735W Series - Two Stage Tied Diaphragm Welded Regulator
959W Series - Single Stage Tied Diaphragm Welded Regulator
BFR5K Series - Bulk Gas Regulator
HF1200W Series - High Flow Welded Regulator
HFT1200W Series - High Flow Tied Diaphragm Welded Regulator
HFR900W Series - High Flow Regulator
IR4000W Series - Single Stage General Purpose Welded Regulator
IR5000W Series - Single Stage General Purpose Welded Regulator
IR6000W Series - Two Stage General Purpose Welded Regulator
QR4000 Series - Internally Threadless Regulator
QRM Series - Miniature Regulator
TruMotion Series - Surface Mount Regulator
SMQRM Series - Surface Mount Miniature Regulator
SMSQ2Micro Series - Surface Mount Regulator
SMTR Series - Surface Mount Tool Regulator
SPR860 Series - Precision High Flow Regulator
SQ Series - High performance Point-Of-Use Regulators
SQ2Micro Series - Miniature Regulator
SQB Series - High Flow Regulator
SQHP Series - High Pressure High Purity Regulator
SQServo Series - Ultra Precision High Flow Regulator
830 Series - High Purity Diaphragm Valve
845 Series - High Purity Diaphragm Valve
855 Series - High Purity Diaphragm Valve
870 Series - High Flow High Purity Diaphragm Valve
930 Series - High Pressure Diaphragm Valve
930Y Series - Manifold Valve
945 Series - High Pressure Diaphragm Valve
945Y Series - High Pressure Manifold Valve
955 Series - High Pressure Diaphragm Valve
955Y Series - High Flow Manifold Valve
970 Series - High Flow High Purity Diaphragm Valve
F9 Series - All Welded Check Valve
SMHT175 Series - High Temperature Surface Mount Diaphragm Valve
SM930 Series - High Flow Surface Mount Diaphragm Valve
SM955 Series - High Flow Surface Mount Diaphragm Valve
VAC100 Series - Vacuum Generator
16 Series - High Pressure High Flow Valve
17 Series - High Flow Diaphragm Valve
18 Series - High Flow/Bulk System Diaphragm Valve
500 Series - Single & Duplex Bellows Valve
600 Series - Manual & Pneumatic Bellows Valve
700 Series - High Flow Bellows Valve
935 Series - 1/2” Diaphragm Valve
935T Series - 1/2” Horizontal Cross Valve
935Y Series - 1/2” Diaphragm Valve
CyMax Series - Single & Duplex Diaphragm Valve
P Series - Bellows Valve
Modular Gas Stick
Automatic Buttweld Fittings
MiniButtweld Fittings
UltraSeal Fittings
VacuSeal Fittings
DISS CGA - High Purity Gas Fittings
959 Series
MV/PV-10 Series
AVR4 Series
PV-20 Series
IR4000 Series
Custom Assemblies
IR6000 Series
FM Series
NV55 Series
SG-1 Series
CGA
TS Series
Parflare Series
BFR5K Series
18 Series
700 Series
QR4000 Series
TruMotion Series
Modular Gas Stick
SMSQ2Micro Series
VacuSeal Fittings
945 Series
SM930 Series
F9 Series
过程控制
派克汉尼汾公司 Veriflo 分部是精密隔膜阀和散装气阀、调节器以及用于控制和应用液体和气体的流量控制组件的制造商。该部门提供两种独特的产品，用于半导体和太阳能电池制造的超高纯度 (UHP)。第二个产品是用于石化、炼油和一般工业应用的完整仪器过程分析仪 (IPA) 系列。 Veriflo 分部为 UHP 产品提供最先进的 10 级洁净室和一个用于 IPA 产品的组装区。派克新产品开发的“Winovation”流程使该部门能够更好地为我们的客户群提供满足当前和未来工艺应用的产品和系统。
超高纯阀门Ultra High Purity Valves
Parker Veriflo 的超高纯度阀门设计符合严格的材料、设计、清洁度和性能规格，使其成为最苛刻的半导体气体和液体应用的理想选择。Parker Veriflo' s Ultra high purity valves are designed to exacting material, design, cleanliness, and performance specifications which make them ideal for use in the most demanding semiconductor gas and liquid applications.
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
945Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.25 Cv 的流量和高达 3500 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。
超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
955 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.55 Cv 的流量和高达 250 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。
UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – 955Y 系列
UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – 955Y 系列
955Y 系列隔膜阀（Y 型块体）将两个高流量阀组合到一个紧凑的阀体中，简化了吹扫系统与气体歧管的集成，同时提高了吹扫过程的效率。
PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
SG-1 系列 PFA 氮气枪专为超高纯度半导体制造应用而设计。可提供 FNPT 或 Parflare 连接。其他选项包括 0.2 或 0.5 微米过滤器和盘绕软管组件（高达 80 psig）。
超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
930 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。
UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 psig） – 935 系列
UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 Psig） – 935 系列
935 系列阀门旨在用于超高纯度气体分配系统。它在高流量、低压条件下提供卓越的气体控制，在这些条件下，高泄漏完整性和绝对纯度至关重要。
UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 psig） – 935A 和 935T 系列
UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 Psig） – 935A 和 935T 系列
935A 和 935T 系列是 ? 英寸阀门，其阀体包含直径达 2 英寸的流通管连接。这种设计简化了将下降管线隔离阀集成到横向气体分配系统中的过程。
泄压阀 - VR7 系列
泄压阀 - VR7 系列
派克 VR7 系列泄压阀旨在通过在阀座发生轻微泄漏时从调节器排出多余压力来确保下游工艺设备的安全和保护。它有不锈钢材质。
UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
CV-1 系列止回阀具有机械加工的 PTFE 弹簧，可实现低开启压力操作和最小的重新密封背压。它具有出色的耐腐蚀性，专为超高纯度应用而设计。
UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
F9 系列是一种高纯度全焊接止回阀，占地面积小，可提供高达 0.90 的高 Cv，以节省急需的面板空间。F9 非常适合半导体晶圆厂应用、VMB/VMP 和气柜制造商。
UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
CV-32 系列 PTFE 高流量止回阀提供低开启压力和高完整性密封，以提供回流保护。它非常适合用于超高纯度半导体制造应用的散装化学品输送系统。
UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
PV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路和 3 路配置。
UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
注意：此产品不再可用 - 请联系我们以获得进一步的帮助。
UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
PV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。
UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
RV 系列是一种 PTFE 安全阀，非常适合超高纯度半导体、去离子水和腐蚀性化学应用。该阀门高度紧凑，可在现场进行调节，以提供安全可靠的泄压。
UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
PV-10 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 2 路或 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。
超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
930Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。
超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
SM930 系列表面安装阀具有出色的可靠性、泄漏完整性和清洁度，非常适合用于需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体工具应用
UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – SM955 系列
UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – SM955 系列
SM955 系列隔膜阀可配备各种手动操作器和气动执行器。它具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于 UHP 半导体模块化表面贴装系统应用。
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。
UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
MV-10 系列 PFA 手动阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。
UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
MV-11 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 100 psig）而设计。
UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
MV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路配置。
UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
MV-13 系列 PFA 手动针阀具有出色的泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有一个 PTFE 套圈，旨在在超高纯度和腐蚀性流体处理应用中提供精确的流量控制。
UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
注意：此产品不再可用 - 请联系我们以获得进一步的帮助。
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
17R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 0.80 Cv 和工作压力高达 3,000 psig 的配置。
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
18R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 1.30 Cv 和工作压力高达 1,500 psig 的配置。
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
945 系列隔膜阀具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合在 UHP 应用中使用。提供流量高达 0.25 Cv 和工作压力高达 3,500 psig 的配置。
PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
MV-6 系列 PTFE 手动球阀具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。它采用全端口设计，可最大限度地减少流量限制，非常适用于腐蚀性化学应用（高达 120 psig）。
UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
MV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。
压力调节器 Pressure Regulators
Parker Veriflo 提供一系列不锈钢和含氟聚合物减压调节器，用于关键半导体气体和湿化学和气体分配应用。所有调节器均按照最高质量标准制造，并因其性能、耐用性和可靠性而享誉全球。Parker Veriflo offers a range of stainless steel and fluoropolymer pressure reducing regulators for use in critical semiconductor gas and wet chemical and gas distribution applications. All regulators are built to the highest quality standards, and are recognized world wide for their performance, durability and reliability.
产品列表
UHP 单级、系紧隔膜压力调节器（入口压力高达 3,500 psig）——959W 和 NPR959W 系列
UHP 单级、系紧隔膜压力调节器（入口压力高达 3,500 Psig）——959W 和 NPR959W 系列
959W 系列系紧隔膜压力调节器专为高压 UHP 应用而设计。该系列具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于气柜、阀组箱和上游工艺线。
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/2 英寸）- BR-08 系列
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/2 英寸）- BR-08 系列
BR-08 系列 PTFE 背压调节器适用于超高纯度和腐蚀性流体处理系统。其非泄压设计要求整个阀门有 5 psi 的压差，从而获得更好的下垂特性和低滞后。
UHP 高流量压力调节器 – 手动或圆顶加载（4.5 Cv，500 psig 入口，最大 1-1/2 英寸）– BFR5K 系列
UHP 高流量压力调节器 – 手动或圆顶加载（4.5 Cv，500 Psig 入口，最大 1-1/2 英寸）– BFR5K 系列
BFR5K 系列压力调节器以紧凑的封装提供高流量。其专利设计最大限度地减少了由于供应压力变化引起的出口压力波动，使其非常适用于 UHP 散装气体输送系统（流量高达 5000 slpm）。
单级压力调节器 - QR4000 和 NPR4000 系列
单级压力调节器 - QR4000 和 NPR4000 系列
QR4000 和 NPR4000 是气柜和散装气体分配的绝佳选择。专为增强泄漏完整性和涉及负输送压力的应用而设计。
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/2 英寸）- PR-08 系列
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/2 英寸）- PR-08 系列
PR-08 系列 PTFE 压力调节器专为超高纯度和腐蚀性流体处理系统而设计。其非泄压设计要求整个阀门有 5 psi 的压差，从而获得更好的下垂特性和低滞后。
超高纯度 (UHP) 表面贴装连接隔膜压力调节器 – SMSQ2Micro 系列
超高纯度 (UHP) 表面贴装连接隔膜压力调节器 – SMSQ2Micro 系列
SMSQ2Micro 系列压力调节器专为需要在小外壳内进行精确压力控制的 UHP 应用而设计。该产品的先进性能和规格使其非常适用于关键的半导体工具操作。
高性能、使用点调节器 - SQ 系列
高性能、使用点调节器 - SQ 系列
SQ 系列调压器是高流量、高性能的使用点调压器，设计用于气体公司、设备制造商和最终用户的工艺气柜。
超高纯 (UHP) 系紧隔膜压力调节器 – SQ2Micro 系列
超高纯 (UHP) 系紧隔膜压力调节器 – SQ2Micro 系列
SQ2Micro 调节器专为需要以小尺寸进行精确压力控制的 UHP 使用点应用而设计。该产品的先进性能和规格使其非常适用于关键的半导体工具操作。
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/4 英寸）- BR-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/4 英寸）- BR-1 系列
BR-1 系列 PTFE 背压调节器具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。其非泄压设计要求阀门两端有 10 psi 的压差，从而确保在腐蚀性流体应用中稳定的上游压力。
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/4 英寸）– PR-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/4 英寸）– PR-1 系列
PR-1 系列 PTFE 压力调节器具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。其非泄压设计要求阀门两端有 10 psi 的压差，从而确保在腐蚀性流体应用中稳定的下游压力。
FR1000系列UHP单级减压调压器
FR1000系列UHP单级减压调压器
FR1000 是一种超高纯度调节器，用于半导体和其他清洁工艺中的气体输送。具有中低流量，是阀组箱、气柜和其他半导体制造应用的绝佳选择
FR1400 系列 UHP 单级、高流量、减压调压器
FR1400 系列 UHP 单级、高流量、减压调压器
FR1400 是一种超高纯度、系紧隔膜、调节器，用于半导体和其他清洁工艺中的高压气体输送。能够高流量，是气瓶或使用点散装和特种气体应用的绝佳选择
UHP 大流量系紧隔膜压力调节器（最大 3/4 英寸）- FR1200 系列
UHP 大流量系紧隔膜压力调节器（最大 3/4 英寸）- FR1200 系列
FR1200 系列系紧隔膜调节器在入口压力高达 1,700 psig 时提供高流量和出色的泄漏完整性。它具有用于高灵敏度的低弹簧刚度，是超高纯度散装和特种气体输送系统的理想选择。
UHP Single Stage, Tied-diaphragm Pressure Regulator (up to 3,500 psig inlet) – 959W and NPR959W Series
UHP Single Stage, Tied-Diaphragm Pressure Regulator (Up To 3,500 Psig Inlet) – 959W And NPR959W Series
959W Series Tied-diaphragm Pressure Regulators are designed for high-pressure UHP applications. The series offers excellent reliability and leak integrity, and is ideal for use in gas cabinets, valve manifold boxes, and upstream process lines.
UHP PTFE Fluoropolymer Back Pressure Regulator (1/2 inch) – BR-08 Series
UHP PTFE Fluoropolymer Back Pressure Regulator (1/2 Inch) – BR-08 Series
The BR-08 Series PTFE Back Pressure Regulator is suited for ultra-high purity and aggressive fluid handling systems. Its non-relieving design requires a 5 psi differential across the valve, resulting in better droop characteristics and low hysteresis.
UHP High-flow, Pressure Regulator– Manual or Dome-loaded (4.5 Cv, 500 psig inlet, up to 1-1/2 inch) – BFR5K Series
UHP High-Flow, Pressure Regulator– Manual Or Dome-Loaded (4.5 Cv, 500 Psig Inlet, Up To 1-1/2 Inch) – BFR5K Series
The BFR5K Series pressure regulator offers high flow in a compact package. Its patented design minimizes outlet pressure fluctuation due to changes in supply pressure, making it ideal for use in UHP bulk gas delivery systems (flows up to 5000 slpm).
Single Stage, Pressure Regulator - QR4000 & NPR4000 Series
Single Stage, Pressure Regulator - QR4000 & NPR4000 Series
The QR4000 & NPR4000 are excellent choices for gas cabinets and bulk gas distribution. Designed for enhanced leak integrity and for applications involving negative delivery pressures.
UHP PTFE Fluoropolymer Pressure Regulator (1/2 inch) – PR-08 Series
UHP PTFE Fluoropolymer Pressure Regulator (1/2 Inch) – PR-08 Series
The PR-08 Series PTFE Pressure Regulator is designed for ultra-high purity and aggressive fluid handling systems. Its non-relieving design requires a 5 psi differential across the valve, resulting in better droop characteristics and low hysteresis.
Ultra-High Purity (UHP) Surface Mount Tied-diaphragm Pressure Regulator – SMSQ2Micro Series
Ultra-High Purity (UHP) Surface Mount Tied-Diaphragm Pressure Regulator – SMSQ2Micro Series
SMSQ2Micro Series pressure regulators are designed for UHP applications requiring precision pressure control in a small envelope. The product’s advanced performance and specifications makes it ideal for use in critical semiconductor tool operations.
High Performance, Point-Of-Use Regulators - SQ Series
High Performance, Point-Of-Use Regulators - SQ Series
The SQ Series of regulators are high flow, high performance point-of-use regulators designed to be used in process gas cabinets for gas companies, equipment manufacturers and end users.
Ultra-High Purity (UHP) Tied-diaphragm Pressure Regulator – SQ2Micro Series
Ultra-High Purity (UHP) Tied-Diaphragm Pressure Regulator – SQ2Micro Series
SQ2Micro regulators are designed for UHP point-of-use applications requiring precision pressure control in a small form factor. The product’s advanced performance and specifications makes it ideal for use in critical semiconductor tool operations.
UHP PTFE Fluoropolymer Back Pressure Regulator (1/4 inch) – BR-1 Series
UHP PTFE Fluoropolymer Back Pressure Regulator (1/4 Inch) – BR-1 Series
The BR-1 Series PTFE Back Pressure Regulator offers high cycle life and excellent resistance to corrosion. Its non-relieving design requires a 10 psi differential across the valve, thus ensuring stable upstream pressure in aggressive fluid applications.
UHP PTFE Fluoropolymer Pressure Regulator (1/4 inch) – PR-1 Series
UHP PTFE Fluoropolymer Pressure Regulator (1/4 Inch) – PR-1 Series
The PR-1 Series PTFE Pressure Regulator offers high cycle life and excellent resistance to corrosion. Its non-relieving design requires a 10 psi differential across the valve, thus ensuring stable downstream pressure in aggressive fluid applications.
FR1000 Series UHP Single Stage Pressure Reducing Regulator
FR1000 Series UHP Single Stage Pressure Reducing Regulator
The FR1000 is an ultrahigh purity regulator for gas delivery in semiconductor and other clean processes. With low to intermediate flow, it is an excellent choice for valve manifold boxes, gas cabinets, and other semiconductor manufacturing applications
FR1400 Series UHP Single Stage, High Flow, Pressure Reducing Regulator
FR1400 Series UHP Single Stage, High Flow, Pressure Reducing Regulator
The FR1400 is an ultrahigh purity, tied diaphragm, regulator for high pressure gas delivery in semiconductor and other clean processes. Capable of high flow, it is an excellent choice for cylinder or point of use bulk and specialty gas applications
UHP High-flow Tied-diaphragm Pressure Regulator (up to 3/4 inch) – FR1200 Series
UHP High-Flow Tied-Diaphragm Pressure Regulator (Up To 3/4 Inch) – FR1200 Series
The FR1200 Series Tied-diaphragm Regulator offers high flow and excellent leak integrity at inlet pressures up to 1,700 psig. It has a low spring rate for high sensitivity and is ideal for ultra-high purity bulk and specialty gas delivery systems.
Parker Hannifin Corporation
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Veriflo Division
Partek Operation
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